半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件高性价比首测设施涉重污水——MVR直接嵌套循环零排创业项目
的项目图片背景
光电器件品质测封的項目,经营规模150万每立方/天,是首只光电器件测封一体化涉重焦化废水处理零排的項目。测封关键点的镀镍、镀铜、引线方框洗掉会带来含镍含铜焦化废水处理,开发区要"无尾水外排",产水大部分中水回用于产线。
生活饮用水特点与思路
电镀废水以含镍为主要(浓硫酸浓度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH浮动大(2–12),以及光刻胶杂质的一少部分有机质物。首测厂地方紧,特殊要求加工处理场地设施占地面小;零排代表着浓水难以建筑垃圾清运更多,应该本地网汽化析出开环。
处工院艺路线图
整体上走"分质收录 → 归一化处理除杂 → 物理沉定除镍 → 过滤系统 → UF+有级RO → MVR硬性循环往复减压蒸馏 → 冷凝剂水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢防硫化钠形成Ni(OH)₂积累,多加混炼橡胶钠纵深气体吸附的残留物镍(混炼橡胶镍Ksp比氢防硫化镍更小,里能镍压到0.1毫克/升一下);
乳浊液满水后经多有机溶剂油烟净化器+门卫油烟净化器后进UF,再进一级通过成绩RO,产水立即回产线清理;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR立即间歇蒸发掉掉器,立即间歇能扛高含盐积垢,蒸发掉掉器再带再线清理,难于堵;
MVR冷却水水回去循环大水池,化掉残液委外焚烧秸秆或用于危险废弃物处治,所有园区无气态外排。
重要机器设备特点说明书
MVR被迫无限循环系统对比平凡降膜多效蒸发掉掉,无限循环系统空气流速高、热传递面不能结镍盐/碳酸盐垢,适用于首测这一"容量不但地表水杂"的3d场景;分离式化撬装规划占地面积比中国传统多效蒸发掉掉塘+多效多效蒸发掉掉设计小60%往上;臭味侧配备菌物滤池,把调高池和生活污水间的臭味收藏后溶解成CO₂和水,减少首测厂相邻办公室区的气味匿名举报。
除理郊果与利润
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《真空电镀生态破坏物进行排污标》表三;整体150万立方/天产水造纸废水处理于公测产线拆洗,混用等量新鲜毛肚水;危险废弃物(减压蒸馏残液+污水)量比普通"滤渣+进行排污"形式减约70%。对富士康侧,公测楼盘绿色环保运营卡点打架通;