某半导解决芯片造成厂在晶圆制造的时候中，利用硅烷实现硅外延性生长期，排放洗條塔呈现高有机废气浓度含硅废气。废气具备pH动荡大（2-11）、硅分量高的优缺点，过去的解决策略易展现硅垢梗塞大问题。 污废水 组成及起源 污废水 主耍部分为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢腐蚀钠 ：洗滌塔腐蚀性洗滌液剩余的 颗粒状硅 ：纳米级级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：辅料残渣带到 补救步骤流程步骤流程 改革创新用于"多级采和+膜过滤系统+多效蒸发晶粒"艺： 两级采和 ：用CaO设定pH至4-5，转成硅酸钙沉定，硅去掉率60%。 二次中合 ：加Na₂CO₃将pH改善至9，进这一步沉淀物余下硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜系统性 ：0.02μm瓷质膜筛选纳米级级硅粒子，通量增强在80LMH。 MVR多效冷却器 ：精炼高盐生活污水，晶体出Na₂SO₄副產品，水使用率超90%。 既定目的 总硅从1500mg/L下降5mg/L这 砷成分从0.8mg/L低于0.01mg/L 设备无结渣行驶少于2年 每一年收售氢氧化钾钠氯化钠晶体约800吨