该厂为8英尺晶圆生孩子线配套方案的超注射用水系统性，定期有含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅纯度高易结渣，且电阻值率需以达到18MΩ·cm这样才能回收。原来的处里技术没法能够满足新制定的《电子技术鑫霖环保水环保问题物摆放标准化》（GB39731-2020）很大摆放标准值。 废水处理方法组分特殊性 最主要的环境破坏物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粉末硅（颗粒直径0.1-1μm） 层次性需要 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水体质量基本特性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物特征复杂化 净化处理工艺设计程序流程 创新发展主要采用"梯级膜剥离+电去铁离子"三人组合加工制作工艺 ： 微滤预治理 ：1μm瓷质膜截拦大粒状硅，通量确保80LMH 铝离子对调树脂胶 ：D201大孔树酯选购性吸附性硅酸分子式 三级RO软件 ：第一次段回收处理率60%，第二步段进行高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 ：电流量体积密度2A/m²，不断清理残存正离子 分光光度计消毒 ：254nmUV紫外线的线使用量40mJ/cm² 技巧突出点 的开发多功能阻硅剂（有机酸胺类软型物），减缓膜破坏周期公式3倍 EDI引擎企业创新流道开发，硅的还原率完善至99.8% 百度在线硅进行分析仪器（在测量区域0.1-500μg/L）推动精淮的控制 正常运行工作成效 经第二方探测： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼成分从8μg/L减少为0.3μg/L 模式回收分类处理率从原40%加快至68% 膜变更的周期廷长至5年，年电脑运行成本投入有效降低35%