该项目时代背景
成都某半导体技术厂生产销售时候中时生产高硅工业废水处理工艺处理方法(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟工业废水处理工艺处理方法(F⁻ 200-300mg/L)。两大类工业废水处理工艺处理方法混杂后容易组成氟硅酸固体,传统式化学沉积法其特性很难稳定可靠规范标准。新项目规范标准同步操作除掉硅和氟(排出规范标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废液的成分及源于
一般材料
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
特征
:晶圆刻蚀化工废渣、CMP磨细化工废渣、装置冲泡水
办理技术注意事项
信息化结晶时间段
:
二级发生反应池
:
首位级加药Ca(OH)₂转换CaF₂和CaSiO₃沉淀自己;
最后级加药系统PAC(汇聚氯化铝)增强二沉池。
固液分离处理时间段
:
反渗透膜程序
:用于0.02μm外径膜配件截流溶液硅和微细积累物。
深层次脱氟分阶段
:
催化活性阳极氧化铁吸附性塔
:残留物氟铁离子吸咐清除。
终结成果
喷水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远高于国度标准规定。
反渗透膜软件通量稳定性在15LMH,电化学洗涤周期性延长至至60天。
飞灰经压滤后水分含量率<65%,可按应该固体废物应对。