该晶圆造成厂在华北的地方,常见生產销售85英寸半导体芯片晶圆,单日废气减排量约800吨。伴随生產销售全过程中运用许多氢氧化钠进行晶圆蚀刻,会造成废气中氟化物浓硫酸浓度更是高达200-300mg/L,远超國家减排的标准(10mg/L一些)。
焦化废水物质及特征
生产废水具体存在两个流程:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、盐酸及极富高价属
化工机制cnc精密机械加工(CMP)生活污水
:含纳米技术级硅科粒、有机质络合剂
装置拆洗废水处理工艺
:含异丙醇、化学需氧量等生物碳物
处置鑫霖环保工艺
用于"药剂学滤渣+混凝土滤渣+深度.脱水"三级分销治疗系统性:
第一处置
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,产生氟化钙发展,氟化物删去率达85%
二次治疗
:加入PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),避开橡胶胶体部分态影响物
3级外理
:经过多物料粘附器和渗透性炭粘附,有水出氟化物氧化还原电位不稳定性在8mg/L接下来
关键点机械设备包涵:pH会自动上下调整系統、斜管积淀池、板框设备(淤泥脱水等)。
终究疗效
该项目启用两年监控数据报告展现:
氟化物月均氧化还原电位:7.2mg/L(高出各国标准单位)
COD去掉率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年回收充分利用氟化钙副商品约150吨,构建资源性化充分利用