半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务情况
该半导工业企业属于长半圆地域,大部分制造加工8厘米和12厘米晶圆,日摆放废蓄水量约2000吨。基于制造鑫霖环保技术繁多,废水面含带多个难生物降解有机的物和血本属铁离子,传统性处理技术无法充分考虑发展基准的摆放基准。
废气组成成分及源于
废液重点來出于以下的环节:晶圆激光切割机废液带有多硅粉和激光切割机液留;药剂学自动化机械cnc精密机械加工废液蕴含溶液硅和研磨设备粒状;刻蚀的洗涤废液带有氟化物、铜铝离子等血本属;光刻工艺设计废液则带有光阻剂等可挥发生态破坏物。土质特色是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓硫酸浓度高(200-400mg/L)、飘浮物多且带有少量血本属。
补救施工工艺生产工艺
采取"有机化学预操作+生化学操作+纵深操作"的组合公式加工过程:
上下调整池多样化饮用水质的水量
沥青混凝土沉积清掉浮窗物和溶液物质
无机化学结晶出的法专用除理氟化物,加药钙盐生成氟化钙结晶出的
淀粉水解硝化作用池升高废气可血生化性
触及氧化反应池光降解有机会严重污染物质
亲水性炭吸附物塔展开厚度治疗
膜分離系统事关溢水水质标准稳定性高
采取含铜工业废水独自設置化合物传递装置,收回有附加值的金属件铜。
进而郊果
工程成立 后行驶相对稳定,出液COD<50mg/L,氟化物浓硫酸溶度<5mg/L,铜阴阳离子浓硫酸溶度<0.3mg/L,数据来统计指标均具有地方《智能工农业水严重污渍的直接排放标准细则》(GB 39731-2020)。一年可下降COD的直接排放标准约300吨,氟化物的直接排放标准约50吨,回收处理铜重金属约2吨,推动了生态环境竞争力与经济社会竞争力的共利。